一般情况下，利用低气压等离子体进行油污清洗的过程中必不可少的需要真空设备，从而导致工业生产过程中投入过高，不可避免的使生产率下降。为了提高生产效率，同时降低运行成本，摆脱了真空装置的大气压等离子体在油污清洗的应用中备受青睐。大气压等离子体在各领域中已经得到很快的发展，而大气压等离子体在上个世纪90年代也已经很广泛的应用在表面的清洗过程中。

通过大气压介质阻挡放电等离子体清洗与液体溶剂清洗的对比，得到大气压介质阻挡放电等离子体具有良好的清洗能力。日本学者在氮气脉冲介质阻挡放电中通入氧气而产生的等离子体清洗玻璃表面的污物，结果显示通入0。03%的氧气时，清洗效果，因此存在清洗氧气混合比。随着近些年大气压等离子体清洗技术进一步发展，各国学者发现，针对不同材料表面的不同污物，选择合适的大气压等离子体可以得到更好的清洗效果。波音公司的技术人员针对钛或钛合金基体上的锈皮，选择大气压CF4和SF6等离子体进行清洗，可以均匀彻底地清除钛或钛合金基体上的锈皮，同时对下层的基体不会造成伤害。国内的大气压等离子体清洗虽然起步较晚，但近些年也得到较快的发展。

。中科院微电子研究所利用所研发的常压射频冷等离子体喷枪清洗硅片面上的光刻胶，清洗率可达1m/min，并且在此基础上设计了双射频电极的大气压等离子体自由基清洗喷枪，同时成功申请了zhuanli技术。近些年，大气压等离子体清洗技术备受国内外学者的广泛关注。一般情况下，为了得到更好的清洗效果，通常会通入适量的活性气体，例如氧气。然而，由于氧气的负电性会影响放电的稳定性，甚至一些时候会过渡到弧放电。本文利用钱沐杨等学者的预电离技术。

文中利用双管双高压使氩气先放电而产生大量种子电子，此时由外石英管通入适量的氧气，随后氧氩混合气体电离，可以产生比较稳定的氧氩等离子体射流，进而可以对涂有油污的表面进行清洗。 1实验装置双管双高压放电装置如图1所示。该放电装置由长为9cm内管和长为11cm外管构成。氩气由插入内管顶端的一个高压不锈钢针电极通入，而氧气由外管的侧通道通入，第二个电极为紧密缠绕在距外石英管顶端3cm处的薄铝箔。均匀涂抹润滑油污的金属板放置在距氧氩等离子体射流喷口1。5cm处的不锈钢地电极的石英介质板上。实验所用电源为频率15-40kHz的高压电源，且电压在0-10kV连续可调。利用氧氩等离子体射流清洗油污的应用过程中，峰值电压为9kV，电源频率为28kHz。氩气有质量流量计控制在3。3slm，而氧气在0-80sccm内变化。电压和电流信号分别由高压探头和串联在回路的电阻测量，并由TektronixDPO4104示波器采集得到电压和电流波形。